球形金刚石的形成机制

摘要：

在p-Si(100)基体上用热丝CVD法沉积了球形金刚石薄膜. 用XL30FEG扫描电镜、 X射线衍射仪及Raman光谱仪对不同沉积时间的球形金刚石的微观形貌及组成成分进行了研究, 并对其形成机制进行了分析. 结果表明: 球形金刚石的颗粒密度和形核密度一致, 球形金刚石由微晶金刚石组成, 晶粒尺寸为70～200?nm; 微晶金刚石是沉积过程中快速二次形核而形成, 呈无序分布; 球形金刚石薄膜以二次形核方式繁衍生长.

关键词：金刚石、微晶、二次形核、化学气相沉积法

所属期刊栏目：12

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：广东省自然科学基金990548;高等学校博士学科点专项科研项目1999056121

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：566-569