双层辉光离子多元共渗中的源极变化

摘要：

观察了双层辉光渗金属过程中源极溅射后的成分以及形貌, 利用X射线衍射对源极溅射表面进行了相分析, 并且用Thermo-cale软件进行了相计算. 结果表明: 在辉光溅射条件下源极的成分和形貌发生了较大的变化, 溅射后源极表面主要析出相为μ相和Laves相, 用Thermo-cale软件热力学相计算结果与X射线衍射结果基本吻合.

关键词：双层辉光、多元共渗、溅射

所属期刊栏目：12

分类号：TG156(金属学与热处理)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划7150080050

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：327-330