(TiFeCr)N多元膜的氧化行为

摘要：

研究了同时加入Fe与Cr进行改性的(TiFeCr)N多元膜的高温氧化行为.结果表明:当氧化温度高于600℃时,这种多元膜的氧化增质均低于TiN膜;800℃氧化后膜层完整,没有出现类似TiN膜的局部脱落现象.基体对多元膜的氧化产物无明显影响,700℃氧化后两种基体上的多元膜均转变为TiO2(金红石);但基体对TiN膜的氧化产物却有明显影响,在Cu基体上膜层的氧化产物由TiO2及少量Ti3O5组成,而玻璃基体上膜层的氧化产物则由Ti3O5及少量TiO2组成.

关键词：多元膜、离子镀、高温氧化

所属期刊栏目：11

分类号：TG142.45(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1064-1068