用Kroner模型计算取向薄膜的弹性矩阵与X射线弹性常数

摘要：

首先用Kroner模型计算了具有丝织构的TiN薄膜的弹性矩阵。 当材料具有较强的丝织构时， 材料弹性矩阵的对称关系将发生变化， 得到的弹性矩阵与各向同性同种材料的弹性矩阵相差很大， 相同分量的值一般相差在13～20 　GPa之间。 然后计算了TiN薄膜的弹性常数曲线随ψ角的分布。 当应力测试方向不同时， 即使是同一晶面， 弹性常数也会产生差异， 而且弹性常数随ψ角的分布在低ψ角区发生了弯曲。 计算的TiN薄膜X射线弹性常数曲线的弯曲情况与实测的PVD TiN薄膜应力测试曲线相似。

关键词：弹性矩阵、丝织构、薄膜、X射线衍射

所属期刊栏目：11

分类号：TG115.23(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金59731020

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：198-201