Ni-Cr-Mo-Nb合金的阴极溅射行为

摘要：

研究了双层辉光放电条件下镍基合金Inconel 625的阴极溅射行为。 结果表明： 多组元镍基合金由于各组元溅射率不同， 产生择优溅射现象。 Mo， Nb等低溅射率元素在阴极表面富集， Ni， Cr等高溅射率元素在阴极表面贫化， 使阴极表面发生相变， 形成含Mo， Nb较高的金属间化合物析出相P相和Laves相。 随着阴极溅射电压的增加， 阴极合金元素溅射率增加； 并且随着阴极温度升高， 阴极溅射率也随之增加。

关键词：双层辉光、阴极溅射、镍基合金

所属期刊栏目：11

分类号：TG156.8(金属学与热处理)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划715-008-0050

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：179-182