WC-8.0%Co基底上微波等离子化学气相沉积金刚石膜

摘要：

研究了基片预处理和工艺参数对微波 等 离子化学气相沉积金刚石涂层WC-8.0%Co刀具质量的影响， 研究了提高成核密度和沉积 速 率的方法， 用SEM， XRD， 激光Raman光谱分析了金刚石涂层质量， 用切削试验检测金刚石涂层与刀具基 底的附着情况 。 结果表明， 在1∶3的稀盐酸中酸洗15 　min后用 氨水浸泡10 　min的基片处理方法能有效地抑制金属钴的溢出， 从而提高金刚石涂层 的质量， 并且使刀具 使用寿命提高10倍以上。

关键词：WC-Co 刀具、金刚石膜、微波等离子化学气相 沉积

所属期刊栏目：11

分类号：TN304.055(半导体技术)

资助基金：湖北省自然科学基金99J070;国家重点实验室基金99-7

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：116-119