10.3969/j.issn.1005-2852.2023.06.009
真空氦漏孔校准方法的研究
本文介绍了一种不带氦气源的真空氦漏孔的校准方法,可实现-100~1000kPa压力、(10-10~10-4)Pa.m3/s漏率范围内的真空氦漏孔的校准,扩展不确定度Urel=10%(k=2).适用于真空氦漏孔日常的校准工作.
真空氦漏孔、漏率、氦质谱检漏仪
TB75;TN107;O153.1
基于真空衰减法的阳性样品校准装置的研制E00RY2210
2023-06-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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