亚微米液体颗粒计数器的关键技术研究及应用

摘要：

亚微米液体颗粒计数器是一种应用于半导体、电子等领域进行超纯水、超净液体的颗粒污染程度检测的主要仪器.基于光散射原理,采用半导体激光器作为光源,以雪崩光电二极管作为光电转换元件,以比较器实现颗粒物粒径的甄别,以计数芯片实现单个粒径颗粒的统计,以嵌入式芯片实现不同粒径颗粒的统计,开发了一种可实现检测液体中0.2μm粒径的不溶性颗粒计数器,并通过测试纯水、光刻胶等溶剂与进口检测仪器相比误差<1％,达到替代进口的目的,实现高端颗粒计数仪器的国产化.

关键词：亚微米液体颗粒计数器、光散射、半导体激光器、雪崩光电二极管

分类号：TN248.4;TN914.332;TP393

在线出版日期：2023-03-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：63-66