基于有限元方法MEMS陀螺仪环境应力仿真分析

摘要：

建立了MEMS陀螺仪叠成封装结构有限元模型.采用商业有限元软件分析MEMS陀螺仪在温度循环,随机振动,机械冲击下的应力情况,以提高MEMS陀螺仪在环境应力下的可靠性.

关键词：微机电系统、陀螺仪、有限元方法、振动、冲击

在线出版日期：2019-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：64-67