基于氦质谱检漏仪的清氦技术研究

摘要：

从氦质谱检漏仪的检漏过程出发,通过实验讨论氦质谱检仪的清氦方式,对氦质谱检漏增加氮气清洗装置的改进,并讨论仪器的清氦过程.

关键词：氦质谱检漏仪、清氦技术、灵敏度

分类号：V44;TP2

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项2012YQ220084

在线出版日期：2017-06-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：73-76