10.3969/j.issn.1005-2852.2016.11.007
基于氦质谱检漏的多箱多泵组检漏技术研究
从真空箱多箱多泵组的检漏原理出发,讨论多箱多泵组的时序分配问题、各段时序中设备资源的合理利用,达到最佳工作组合,各段时间内真空箱的压力、漏率的变化情况.实现高效率的检漏需求.
氦质谱检漏、多箱联动、时序分配、资源分配
TP2;TU5
国家重大科学仪器设备开发专项2012YQ220084
2016-12-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
27-29
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10.3969/j.issn.1005-2852.2016.11.007
氦质谱检漏、多箱联动、时序分配、资源分配
TP2;TU5
国家重大科学仪器设备开发专项2012YQ220084
2016-12-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
27-29
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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