提高氦质谱检漏仪检漏压力的研究

摘要：

从讨论逆扩散型氦质谱检漏仪检漏压力出发,提出一种可以提高检漏压力的方法,并通过实验分析这种高压下的检漏范围、仪器本底、信号响应与清除时间,以及这种高压下检漏需要注意的问题.

关键词：氦质谱检漏仪、检漏压力、检测范围、清除时间

分类号：TP2;TN1

资助基金：国产高速小型复合分子泵在氦质谱检漏仪上的应用2013YQ13042907

在线出版日期：2016-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：52-55