10.3969/j.issn.1005-2852.2016.05.015
气体质量流量控制器的分流器的设计
分流器是气体质量流量控制器中的一个重要部件.分流器是否合适将对气体质量流量控制器的性能指标,如精度、线性等重要指标参数有直接的影响.合适的分流器能够改善产品的精度、线性等性能指标;反之,不合适的分流器将会使得产品的精度、线性等指标参数超差,最终导致产品成为不合格品.为解决分流器的设计问题,本文根据流体力学的理论,建立气体质量流量控制器的分流器的数学模型.该模型能够为分流器的设计和计算提供理论依据.
气体、质量流量控制器、分流器、设计
TS5;TP3
2016-07-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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