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10.3969/j.issn.1005-2852.2013.01.009

氧化铝预脱硅过程RP值的软测量系统

引用
针对预脱硅过程的RP值在线实时检测,影响生产质量和生产控制实时性问题,提出了RP值软测量的方法,开发了一套基于神经网络软测量的软件系统,利用此系统对预脱硅过程RP值进行预测.现场运行表明,系统误差在4%以内,对生产质量和控制实时性问题可以起到指导作用,证明了该软测量方法的有效性.

RP值、软测量、神经网络

TP2;TF8

2013-06-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

47-50

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中国仪器仪表

1005-2852

11-3359/TH

2013,(1)

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