单频激光干涉系统的研制

摘要：

单频激光干涉仪采用整体式的布局,提高了测量系统的稳定性和灵敏度,光程差放大技术,提高了系统的分辨率,利用偏振光移相和共模抑制的方法,对干涉仪的4路相互正交的信号进行差分处理,减小光强零漂以及环境变化对系统的影响,最终通过误差补偿修正处理,系统可以获得高质量的输出信号.

关键词：光学测量、偏振光移、相共模抑制、误差补偿

分类号：TN2;TH1

在线出版日期：2009-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：60-62