10.3969/j.issn.1005-2852.2009.07.003
MEMS微电子机械系统与流程工业自动化
@@ 1 引言
在20世纪80年代,随着美国借助半导体集成电路制造技术研制成功微米级的硅微型静电电机而形成了微机械领域.
MEMS、微电子机械系统、流程、工业自动化、Automation、半导体集成电路、制造技术、静电电机、机械领域、微米级、研制、世纪、美国、硅微
TP2;TN4
2009-08-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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MEMS、微电子机械系统、流程、工业自动化、Automation、半导体集成电路、制造技术、静电电机、机械领域、微米级、研制、世纪、美国、硅微
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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