MEMS微电子机械系统与流程工业自动化
万方数据知识服务平台
应用市场
我的应用
会员HOT
万方期刊
×

点击收藏,不怕下次找不到~

@万方数据
会员HOT

期刊专题

10.3969/j.issn.1005-2852.2009.07.003

MEMS微电子机械系统与流程工业自动化

引用
@@ 1 引言 在20世纪80年代,随着美国借助半导体集成电路制造技术研制成功微米级的硅微型静电电机而形成了微机械领域.

MEMS、微电子机械系统、流程、工业自动化、Automation、半导体集成电路、制造技术、静电电机、机械领域、微米级、研制、世纪、美国、硅微

TP2;TN4

2009-08-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

29-31,41

相关文献
评论
暂无封面信息
查看本期封面目录

中国仪器仪表

1005-2852

11-3359/TH

2009,(7)

相关作者
相关机构

专业内容知识聚合服务平台

国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”

国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304

©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1

信息网络传播视听节目许可证 许可证号:0108284

网络出版服务许可证:(总)网出证(京)字096号

违法和不良信息举报电话:4000115888    举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn

举报专区:https://www.12377.cn/

客服邮箱:op@wanfangdata.com.cn