MEMS微电子机械系统与流程工业自动化

摘要：

@@ 1 引言
在20世纪80年代,随着美国借助半导体集成电路制造技术研制成功微米级的硅微型静电电机而形成了微机械领域.

机标关键词：MEMS、微电子机械系统、流程、工业自动化、Automation、半导体集成电路、制造技术、静电电机、机械领域、微米级、研制、世纪、美国、硅微

分类号：TP2;TN4

在线出版日期：2009-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-31,41