10.3969/j.issn.1005-2852.2007.08.010
电容式微型真空传感器在真空绝热板生产中的应用研究
介绍一种基于电容式微型真空传感器的真空度检测系统.系统利用PIC系列单片机对真空绝热板真空度进行实时测量,试验数据表明精度可达10-2Pa,完全满足测量的要求.
微型真空传感器、真空绝热板、电容-电压转换器、PIC单片机
TP2(自动化技术及设备)
2007-09-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
56-58
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10.3969/j.issn.1005-2852.2007.08.010
微型真空传感器、真空绝热板、电容-电压转换器、PIC单片机
TP2(自动化技术及设备)
2007-09-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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