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10.3969/j.issn.1005-2852.2005.12.012

基于垂直位移扫描的三维表面轮廓测量仪

引用
该测量仪在测量过程中以保持杠杆处于平衡位置为前提,X-Y向、Z向工作台分别采用衍射光栅为标准器,X-Y向工作台采用直线电机和压电陶瓷分别进行粗、细两级定位.本文论述了仪器的整体结构、测量原理、工作台的定位控制以及衍射光栅干涉信号的处理.

表面轮廓测量仪、杠杆、衍射光栅、直线电机、压电陶瓷

TH7(仪器、仪表)

2006-01-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

54-57

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中国仪器仪表

1005-2852

11-3359/TH

2005,(12)

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