基于MEMS的微型泵技术研究

摘要：

基于硅微结构的微流体控制系统--微型泵,是微机电系统(MEMS)中的一个重要分支,可广泛用于生物、医学、化工、电子、航空等领域.综述了国内外微流体控制系统中微泵技术的研究现状,介绍了几种常用微型泵的工作结构原理,并讨论现有技术中存在的一些问题,以及提出了尝试解决的办法.

关键词：微机电系统(MEMS)、微流体控制系统、微型泵

所属期刊栏目：28

分类号：R319(医用一般科学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA404190

在线出版日期：2004-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：190-193