化学溶液分解法制备(Bi0.9Nd0.1)2Ti2O7薄膜

摘要：

采用化学溶液分解法(CSD)在p-Si(111)衬底上制备了(Bi0.9Nd0.1)2Ti2O7薄膜.用X射线衍射技术分析了薄膜的结构和结晶性,结果显示,在600℃退火10 min得到了结晶性较好、表面致密的多晶薄膜;用原子力显微镜描述了薄膜的表面形貌,与在XRD中观察到的择优取向是一致的;同时还研究了薄膜的电学性能.结果表明,在0～6 V范围内,薄膜的漏电流小于1.53×10-10 A;在室温100 kHz下,其介电常数为166,介电损耗因子为0.227,显示出薄膜具有较好的绝缘性和介电性能.

关键词：化学溶液分解法、(Bi0.9Nd0.1)2Ti2O7薄膜、介电常数、稀土

所属期刊栏目：25

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金60278036;50172031

在线出版日期：2007-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：505-508