纳米压痕和划痕法对含氧化铈薄膜机械性能的测定

摘要：

采用溶胶-凝胶法在玻璃基体上制备了CeO2-TiO2单层膜、TiO2-SiO2单层膜和CeO2-TiO2/TiO2-SiO2双层膜,采用纳米压痕和划痕法对薄膜的机械性能(纳米硬度、弹性模量、临界载荷、摩擦系数)进行了分析.实验结果表明,双层膜与玻璃基体的附着力以及弹性模量、硬度等指标均大于单层膜,由TiO2-SiO2组成的内层,对强化附着力起到了关键作用.

关键词：双层薄膜、氧化铈、溶胶-凝胶法、纳米压痕、纳米划痕、稀土

所属期刊栏目：24

分类号：TB171.73;TB43(工程基础科学)

资助基金：河北省自然科学基金E2004000241

在线出版日期：2007-04-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：116-119