激光分子束外延技术及其在氧化锌薄膜制备中的应用

摘要：

与金属有机物化学气相沉积和磁控溅射相比, 激光分子束外延技术(L-MBE)是近年来发展的一种先进的薄膜生长技术, 在氧化锌薄膜生长的研究中因其独特的优越性显示出越来越强的竞争力.在讨论ZnO薄膜基本特性的基础上, 较为详细地论述了激光分子束外延技术及其在氧化锌薄膜制备中的应用和取得的新进展.

关键词：ZnO薄膜、分子束外延、激光分子束外延

所属期刊栏目：21

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2004-02-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：141-143