半导体检测设备中直角补偿镜组光路计算及误差分析

摘要：

该文通过严格的数学分析,得到了计算光线经过平面镜反射的光路的一般方法,并将该方法用于半导体检测设备中直角补偿镜组的光路计算.通过计算和分析得到了直角补偿镜组整体的6个刚体自由度对打在TDI相机靶面上的光点坐标的影响,进而得到TDI相机靶面上的光点位置误差和直角补偿镜组的6个自由度之间的函数关系,最后通过误差的小量近似得到更适合工程应用的函数关系,对实际设备系统设计具有一定的参考价值.

关键词：半导体、补偿镜组、光路计算误差分析

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2023-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：88-92