UV冷镜铝反射器的膜层研制

摘要：

在紫外固化设备中,固化强度和速度是衡量紫外线利用率的重要指标,传统紫外固化灯用普通铝材做反射罩,紫外区(小于400nm)反射能量低,红外区(大于700 nm)反射热量高,且铝材表面硬度低,抗腐蚀能力差.以紫外高反膜系设计理论为基础,通过非规整膜系优化设计金属+介质膜堆结构,在固定膜厚下试验算出单层金属膜光学常数.利用离子辅助和金属反应蒸发真空镀膜技术,优化各项工艺参数,在尺寸600 mm×400 mm×0.3 mm抛光氧化铝镁基材上镀多层紫外反射膜提升紫外线使用率,镀膜后裁剪至小尺寸热压成弧形反射灯罩,使紫外区平均反射大于95％,红外区反射能量降低了80％,表面抗氧化耐腐蚀,牢固度高可擦拭,产品外观对应紫外光呈现蓝紫色.工艺重复性高,适合批量生产.

关键词：薄膜光学、紫外高反、膜系设计、红外吸收

分类号：TN246;O484(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2021-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：71-73