10.3969/j.issn.1673-9957.2019.05.007
磁控溅射低温制备高电导高透明氢掺杂薄膜
通过分析直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜实验,明确了溅射技术对于低温制备AZO薄膜的重要作用.由此可以证明,引入适量氢气,有利于提升AZO薄膜的电阻率.
直流磁控溅射技术、低温制备、高电导、高透明、氢掺杂AZO薄膜
O484(固体物理学)
2019-05-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
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10.3969/j.issn.1673-9957.2019.05.007
直流磁控溅射技术、低温制备、高电导、高透明、氢掺杂AZO薄膜
O484(固体物理学)
2019-05-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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