高精密度平行光曝光机图形转移技术

摘要：

随着我国社会经济和科技水平的不断进步,我国电子行业的发展也越来越好,人们对电子产品高精度成像的需求越来越高,相应的对印刷电路板设计和制造方面的要求也有所提高.在此背景下,针对PCB生产所需的曝光设备的研发力度也在不断加强,而平行光曝光设备正是制造密集线路的关键设备.因此,该文从平行光曝光机的工作原理入手,对高精密度平行光曝光机图形转移技术的要点进行分析,并提出相应的措施以实现曝光机线路向精细化方向的发展,从而在技术层面上为高精密度线路板的制造提供有力支撑.

关键词：高精密度、平行光曝光机、图像转移

分类号：TN41(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2019-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：21-22