集成电路的失效分析方法以及相应技术分析

摘要：

伴随着科学技术在我国不断地发展以及应用，集成电路在我国有了非常广泛的应用和发展。我国集成电路现在已经向着尺寸更小的方向发展，具有了集成程度非常高的技术。伴随着集成电路在我国的不断应用，集成电路应用中的失效分析变得越来越重要。集成电路的芯片上有上千甚至上万个电气元件，在失效的集成电路芯片中寻找失效的器件是一件非常困难的工作。本文主要针对我国集成电路的失效问题进行详细地分析以及阐述，希望通过本文的阐述以及分析能够有效地提升我国集成电路失效分析的能力，同时也为我国集成电路的进一步发展以及创新贡献力量。

关键词：集成电路、电性分析、失效分析、物理分析、方法、技术

分类号：TN43(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2016-08-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

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