影响硅片倒角加工效率的工艺研究

摘要：

本文通过分析倒角边缘磨削原理,利用不同尺寸的晶圆,不同的倒角吸盘转速,不同甩干程序对晶片进行倒角程序加工并统计其加工时间,进而分析不同加工条件对倒角边缘磨削加工效率的影响,从而进行最大的改善、优化和提升.

关键词：倒角边缘磨削、晶圆尺寸、吸盘转速、甩干、磨削效率

分类号：TQ164

在线出版日期：2015-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：51-52