铝与玻璃的多层键合

摘要：

铝与功能玻璃的阳极键合技术以其显著的特点：焊接温度低（低于材料的软化温度）,工件变形小,工艺过程简单,使得由于热膨胀而带来的材料热物理性能不匹配问题得以缓解,是自动化工业、生物医药应用、太阳能电池板及航天航空工业领域的特殊器件生产的关键技术之一。本文简要介绍了铝与玻璃多层阳极键合的工艺,分析了阳极键合的机理：离子扩散和阳极氧化是实现键合的主要原因。

关键词：多层阳极键合、公共阳极法、离子扩散、阳极氧化

分类号：TQ17

在线出版日期：2012-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：171-172