EDMOS的工艺和电性模拟

摘要：

EDMOS晶体管广泛地用于半导体器件在很多领域内,如高压MOS场效应管.EDMOS含有一个轻掺杂漏极区域来提升击穿电压,正归功于它们的优越性,这类晶体管正作为功率器件在智能型功率集成电路领域快速地取代双极晶体管.

关键词：EDMOS、Tsu4、深亚米半导体制造、工艺和电性模拟TCAD

分类号：TN3;TN4

在线出版日期：2010-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：13-14