球料比对钨掺杂磷酸锂靶材性能的影响

摘要：

采用常压烧结法制备W掺杂Li3PO4陶瓷靶材，通过改变WC磨球与Li3PO4粉末原料质量比大小，确定W掺杂Li3PO4陶瓷靶材的最佳制备工艺。通过XRD测定靶材物相结构，SEM观察靶材的断面形貌，万能实验机测量靶材的抗弯强度，维氏显微硬度仪测量靶材的维氏硬度，阿基米德排水法测量靶材密度等，对W掺杂Li3PO4靶材的性能进行了分析表征。研究表明，WC与Li3PO4球料比为2∶1的条件下获得的W掺杂Li3PO4陶瓷靶材的综合性能最佳，靶材的相对密度达到92.24%，抗弯强度达到38.34 MPa，维氏硬度达233.810，HV0.3。

关键词：碳化钨、掺杂、Li3PO4靶材性能、球料比、常压烧结法、力学性能测试

所属期刊栏目：31

分类号：TF125;TM283(冶金技术)

资助基金：深圳市科技研发资金基础研究计划资助项目JCYJ20140418181958489

在线出版日期：2016-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：53-57