TiN/AlTiN纳米多层涂层组织与性能的研究

摘要：

采用阴极弧蒸发涂层工艺在硬质合金基体上沉积了TiN/AlTiN纳米多层涂层。利用光学显微镜、SEM、XRD、显微硬度计和划痕测试仪、纳米压痕仪，分析了涂层的组织形貌、纳米调制周期、化学成分、物相组成、结合强度和硬度，并对涂层硬质合金刀片进行了铣削合金钢的切削性能测试。研究结果表明：TiN/AlTiN纳米多层涂层具有致密的柱状晶结构，保留了AlTiN单层涂层的（200）择优取向。大尺寸熔滴Ti含量高、小尺寸熔滴Al含量高，涂层中Al含量低于靶材。调制周期为18.4 nm的TiN/AlTiN纳米多层涂层具有良好的结合强度（＞100 N）和高的硬度（28.2 GPa）。相同涂层厚度的情况下，TiN/AlTiN纳米多层涂层具有比同类单层涂层更高的耐磨性，表现出更好的切削性能。

关键词：TiN/AlTiN、纳米多层涂层、组织与性能、涂层硬质合金、阴极弧蒸发技术

分类号：TF125.2+41;TF124.8+5;TG335.86(冶金技术)

资助基金：2015年工业转型升级强基工程高端装备用高性能硬质合金刀具涂层技术重点项目TC150B5C0/31

在线出版日期：2016-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：49-53