10.3969/j.issn.1009-0622.2006.04.012
RF-PCVD法碳化钨纳米粉的制备
以WCl6+H2+C2H2为反应体系,采用高频等离子化学气相沉积法(RF-PCVD)制备了纳米级碳化钨(WC)粉体,用HRTEM(高分辨率透射显微镜)、XRD(X光衍射)表征了WC粉体的形貌和物相组成,粉体为以WC为主体、W2C和WC1-x的多相共存的混合体,微粒呈近球形与少量棱柱形混合体,粒径范围为50~100nm,平均粒径为70nm.
高频等离子体、化学气相沉积、纳米粉体、碳化钨
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O646.9;TF804.6(物理化学(理论化学)、化学物理学)
山西省科技攻关项目22021092;山西省青年科研项目20051009
2006-10-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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