RF-PCVD法碳化钨纳米粉的制备

摘要：

以WCl6+H2+C2H2为反应体系,采用高频等离子化学气相沉积法(RF-PCVD)制备了纳米级碳化钨(WC)粉体,用HRTEM(高分辨率透射显微镜)、XRD(X光衍射)表征了WC粉体的形貌和物相组成,粉体为以WC为主体、W2C和WC1-x的多相共存的混合体,微粒呈近球形与少量棱柱形混合体,粒径范围为50～100nm,平均粒径为70nm.

关键词：高频等离子体、化学气相沉积、纳米粉体、碳化钨

所属期刊栏目：21

分类号：O646.9;TF804.6(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：山西省科技攻关项目22021092;山西省青年科研项目20051009

在线出版日期：2006-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：38-40