等离子体光谱光源技术的研究进展

摘要：

光谱光源是光谱仪器和光谱技术的核心,等离子体光源是原子发射光谱技术的活跃领域之一,电感耦合等离子体(ICP)已成功地应用于原子发射光谱和无机质谱仪器.由于ICP光源采用氩气作为工作气体,耗量较大,降低氩气用量成为近些年来原子光谱技术研究和改进的重要目标.为此目的,已研究过各种低耗氩ICP光源,非氩气ICP光源,微波等离子体光源,射频电容耦合等离子体光源等.综述了近年这些等离子体发射光源的结构,分析性能及特点,以及它们所用工作气体情况.并归纳总结出,评价各种等离子体发射光谱光源应包括:等离子体温度(激发温度,气体温度),电子密度,工作气体种类及用量,元素检出限,光源的稳健性及经济方面等.

关键词：等离子体光源、ICP-AES、高功率微波等离子体光源(MWP)、射频电容耦合等离子体(rf-CCP)

所属期刊栏目：9

分类号：O657.31;TH744.11(分析化学)

在线出版日期：2019-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：17-26