扫描电子显微镜与原子力显微镜技术之比较

摘要：

SEM和AFM技术是最常用的表面分析方法.本文介绍了SEM和AFM两种技术的原理,描述了这两种技术在样品形貌结构、成分分析和实验环境等方面的性能,比较了两种技术的特性和不足,充分利用两种技术的互补性,将两种技术结合使用,有助于更加深刻地认识样品的特性.

关键词：原子力显微镜、扫描电子显微镜、表面形貌、化学成分

所属期刊栏目：11

分类号：TG115.21+5.3;R319(金属学与热处理)

资助基金：中国科学院资助项目30470900;汕头大学校科研和教改项目L00015

在线出版日期：2006-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：53-58