钇掺杂硅酸锆薄膜的制备及其抗氧化性能研究

摘要：

通过溶胶-凝胶法在SiC基底上制备了钇掺杂硅酸锆薄膜.采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析技术分别对样品的物相和形貌进行了表征,并测试了抗氧化性能.实验结果表明,未进行钇掺杂时,硅酸锆薄膜中存在t-ZrO2和m-ZrO2杂质相,1 300℃氧化102 h后SiC基底增重0.03％.相比之下,钇掺杂后硅酸锆薄膜中仅存在t-ZrO2杂质相,当钇掺杂量为2％时,氧化后SiC基底的质量变化仅为0.027％.这是由于钇掺杂防止了ZrO2相转变,提升了薄膜的整体稳定性,但掺杂量大于3％时会影响硅酸锆的合成.

关键词：薄膜、溶胶-凝胶法、硅酸锆、掺杂

所属期刊栏目：56

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;江西省杰出青年人才资助计划;江西省自然科学基金;江西省自然科学基金;江西省教育厅项目;江西省教育厅项目

在线出版日期：2020-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：21-26