Mg-Co共掺杂对ZnO-TCO薄膜光学特性及微观结构的影响

摘要：

研究了Sol-Gel法制备不同掺杂浓度的Mg-Co共掺杂对Zn0-TCO(transparent conductive oxide,TC0)薄膜的微观结构及光学特性的影响.样品的光学、成分结构及表面形貌特性表征分别利用荧光光谱仪、紫外-可见-近红外光谱仪、XPS、X射线衍射仪、扫描电子显微镜.结果发现:Mg、Co均以离子态对ZnO进行了替位掺杂,薄膜的生长特性均呈现(002)峰择优取向;掺杂前,ZnO薄膜晶粒尺寸较小,表面平整、颗粒疏松;共掺杂后,薄膜表面团簇增加.Mg-Co掺杂比例为2∶2时,薄膜的内部缺陷增多,结晶质量明显下降.由光透过率谱发现薄膜在可见-近红外区域的光透过率基本保持在95％左右,由于掺杂Co,薄膜的禁带宽度变窄,在波长500～650 nm之间出现了特征吸收峰,蓝色发光增强,并且紫外发光峰发生红移.

关键词：掺杂、Sol-Gel、Mg-Co、ZnO薄膜、表面形貌、光学性能

所属期刊栏目：53

分类号：TQ174.75+8.23

在线出版日期：2017-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：31-35