纳米压电-声学-热学显微术及其应用研究

摘要：

在原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)基础上发展起来的扫描探针显微术(Scanning probe microscope,SPM)已成为推动当今纳米科学发展的最重要技术,综述了在商用AFM平台上所发展的超高分辨压电响应力显微术(PFM)、低频高分辨扫描探针声学显微术(SPAM)、三倍频双探针扫描热学显微术(3ω-SThM)等先进扫描探针显微术的工作原理及其应用研究,显示了该先进扫描探针显微术在纳米结构及其与外场互作用的机电、弹性、热学、热电等综合物理特性原位表征的重要潜力.

关键词：扫描探针显微术、压电、声学、热学

所属期刊栏目：53

分类号：TQ174.1+2

资助基金：国家重大科学研究计划;国家重点基础研究发展计划（973计划）;中国科学院重点实验室开放基金

在线出版日期：2017-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：38-45