利用溶胶-凝胶法制备SnO2∶P透明导电薄膜的研究

摘要：

用溶胶-凝胶法制备SnO2∶P透明导电薄膜;探讨P掺杂量、热处理温度、镀膜次数等的对薄膜结构和光电性能的影响.结果表明:Sn02∶P薄膜保持四方金红石结构,随着P掺杂量、热处理温度和镀膜次数的增加,方块电阻先下降后上升;提高热处理温度,可以提高薄膜平整度和致密度;采用提拉法在P/Sn摩尔比为2％时,热处理温度为450℃,镀膜次数为1 4次时,Sn0.∶P薄膜性能最佳,方块电阻为8.9 KΩ/□,可见光平均透过率约为95％;采用旋涂法在P/Sn摩尔比为2％时,热处理温度为450℃,镀膜次数为6次时,方块电阻为4.3 KΩ/□;在相同条件下,采用提拉法制备薄膜光透过率明显高于旋涂法.

关键词：溶胶-凝胶法、透明导电薄膜、方块电阻、磷掺杂、SnO2

所属期刊栏目：53

分类号：O484.4+2(固体物理学)

资助基金：溧阳市科技项目;江苏省大学生创新项目

在线出版日期：2017-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：33-38