退火气氛对溶胶-凝胶法制备ZnO∶Sn薄膜性能的影响

摘要：

采用溶胶-凝胶法以旋涂的方式在石英玻璃上制备锡掺氧化锌(ZnO∶Sn)透明导电薄膜,在不同的退火气氛下对薄膜进行热处理,以此研究退火气氛对薄膜的微观结构和光电性能的影响.通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针测试仪等手段对薄膜样品进行分析表征,实验表明:不同气氛条件下热处理的ZnO∶Sn薄膜仍为六方纤锌矿结构并沿c轴择优生长,且在可见光范围(400～900 nm)样品的平均透过率均超过80％.其中,在氮气气氛下退火处理的薄膜电阻率减小至3.152×10-2 Q·cm,在惰性气体中热处理有效提高了薄膜的光电特性.

关键词：溶胶凝胶、Sn掺杂ZnO薄膜、退火气氛、光电特性

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分类号：TQ174.75;O484.1

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;江西省科技支撑计划;江西省对外合作资助项目;江西省对外合作资助项目;江西省自然基金资助项目;江西省自然基金资助项目;江西省自然基金资助项目;江西省主要学科学术;技术带头人培养计划;江西省高等学校科技落地计划;江西省高等学校科技落地计划;江西省教育厅科技项目;江西省教育厅科技项目;江西省教育厅科技项目;景德镇市科技计划;景德镇市科技计划;景德镇市科技计划

在线出版日期：2016-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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