Mg-Al共掺ZnO薄膜的制备与性能改善研究

摘要：

通过溶胶-凝胶旋涂法在石英衬底上制备不同Mg-Al共掺ZnO薄膜,并运用XRD、SEM、UV-VIS和四探针对薄膜性能进行表征.结果表明:掺Mg-Al之后薄膜均具有C轴择优生长,且一定量的Mg-Al掺杂可改善薄膜的结晶性和致密度,当Mg-Al掺杂量比(at％)为2∶1时,薄膜结晶性和致密度达到最佳.UV-VIS结果表明,Mg-Al掺杂后,ZnO薄膜光学透过率均有所提高,当掺杂量比(at％)为2∶1.5时,高达94.44％.Mg-Al掺杂后,薄膜禁带宽度有着明显的增大,在3.276～3.335 eV范围内可实现调控.掺Mg-Al后薄膜的电阻率变小,从5.74× 10-2Ω·cm下降到1.88× 10-2Ω·cm.

关键词：溶胶-凝胶法、ZnO、Mg-Al共掺、表面形貌、光电性能

所属期刊栏目：50

分类号：TB34;TB303(工程材料学)

在线出版日期：2014-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：28-32