基于x射线衍射法的A位掺杂Bi4Ti3O12铁电薄膜残余应力分析

摘要：

本文采用溶胶-凝胶法制A位掺杂Bi4Ti3O12(BTO)的铁电薄膜Bi3.25La0.75Ti3O12(BLT)、Bi315Nd0.85UO12(BNT).用x射线衍射法对制备的薄膜进行残余应力测量.X-射线衍射结果表明BTO及其改性薄膜表面的残余应力均为拉应力.对Bi4Ti3O12薄膜进行A位掺杂之后薄膜内部的拉应力值增大,且以BNT薄膜内部的拉应力最大.计算得到的BTO、BLT和BNT薄膜内部的残余应力值分别为288.4 MPa、418.4 Mpa和608.2 MPa.

关键词：薄膜、x射线衍射法、残余应力

所属期刊栏目：49

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2014-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：42-44