ITO靶材的结瘤问题研究

摘要：

本文综述了ITO靶材在溅射过程中发生结瘤现象的研究状况,分别分析了陶瓷ITO靶、In-Sn靶和其他靶材的结瘤形成原因以及其他因素对溅射用靶材结瘤现象的影响,并讨论了缓解ITO靶材结瘤问题的方法.

关键词：ITO靶材、溅射、毒化

所属期刊栏目：49

分类号：TB34(工程材料学)

资助基金：宁夏自然基金项目NZ12290

在线出版日期：2013-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：9-12