F掺杂对SnO2薄膜组成、结构与光学性能的影响
以氯化亚锡、无水乙醇为主要原料,氢氟酸、氟硅酸和氟化铵为掺杂剂,采用溶胶-凝胶法制备了不同F掺杂浓度的SnO2透明薄膜,考察了氢氟酸、氟硅酸和氟化铵三种不同掺杂源的分别加入对薄膜物相组成、光学透过率以及微观结构的影响。分析结果表明,F掺杂SnO2薄膜具有的是单一四方金红石相结构,且F的掺杂能抑制薄膜中SnO2晶粒的长大,三种掺杂源中,以0~14mol%氟硅酸掺杂的SnO2薄膜表观质量最佳,且可见光范围内的透过率在75~85%之间。
F掺杂、SnO2薄膜、组成与结构、光学性能、溶胶-凝胶法
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TQ174.758.23
江西省自然科学基金青年基金2010GQH0082
2012-04-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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