F掺杂对SnO2薄膜组成、结构与光学性能的影响

摘要：

以氯化亚锡、无水乙醇为主要原料,氢氟酸、氟硅酸和氟化铵为掺杂剂,采用溶胶-凝胶法制备了不同F掺杂浓度的SnO2透明薄膜,考察了氢氟酸、氟硅酸和氟化铵三种不同掺杂源的分别加入对薄膜物相组成、光学透过率以及微观结构的影响。分析结果表明,F掺杂SnO2薄膜具有的是单一四方金红石相结构,且F的掺杂能抑制薄膜中SnO2晶粒的长大,三种掺杂源中,以0～14mol%氟硅酸掺杂的SnO2薄膜表观质量最佳,且可见光范围内的透过率在75～85%之间。

关键词：F掺杂、SnO2薄膜、组成与结构、光学性能、溶胶-凝胶法

所属期刊栏目：47

分类号：TQ174.758.23

资助基金：江西省自然科学基金青年基金2010GQH0082

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：24-28