溶胶-凝胶法制备钛酸铝薄膜的工艺研究
采用溶胶-凝胶法,以钛酸四丁酯(Ti(OC4H9)4)和硝酸铝(AI(NO3)3·9H2O)为前驱体,乙醇为溶剂,利用硝酸铝中所含的结晶水进行水解反应,制备了适于镀膜的钛酸铝溶胶.利用旋转粘度计、光学显微镜和SEM研究了水解抑制剂种类及用量、pH值,前驱体浓度、陈化时间等因素对镀膜效果的影响.在此基础上,采用浸渍-提拉法经过三次镀膜在碳化硅基片上成功制备出均匀、致密的钛酸铝薄膜.
溶胶-凝胶法、钛酸铝薄膜、碳化硅
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TQ174.75+8
国家自然科学基金;中国科学院特种无机涂层重点实验室开放基金
2011-03-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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