二氧化钒薄膜的掺杂改性及制备

摘要：

介绍了二氧化钒的两种晶胞结构、相变机理,综述了降低其相变温度的各种掺杂元素、掺杂工艺,介绍了各种衬底、退火温度对钒价态和薄膜相变的影响,最后对二氧化钒的应用前景进行了展望.

关键词：二氧化钒薄膜、掺杂、相变、制备

所属期刊栏目：45

分类号：TN373/TQ174.75+823(半导体技术)

在线出版日期：2009-12-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：22-25