Sol-Gel法制备Al2O3-SiO2-TiO2-ZrO2复合陶瓷膜的研究

摘要：

将Sol-Gel法应用于无机膜的制备,成功的研制出一种新型的膜面平整、膜厚均匀且无宏观缺陷的Al2OO3-SiO2-TiO2-ZrO2复合陶瓷膜,复合膜含有γ-A12O3、SiO2、TiO2、ZrO2和Al2SiO5等晶相,改变体系组成含量,晶相组成和含量随之变化,从而引起膜的显微结构的变化.利用XRD、SEM、AFM、EPMA等测试手段重点研究了膜的表面形貌和显微结构,并分析了添加剂、热处理方式等对膜的表面形貌和显微结构影响.

关键词：溶胶-凝胶法、Al2O3-SiO2-TiO2-ZrO2复合陶瓷膜、表面形貌、显微结构

所属期刊栏目：39

分类号：TQ172.1

在线出版日期：2004-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-23,20