MEMS微针阵列干电极及其在生理电信号采集中的应用

摘要：

生理电信号能直接反映人们的身体状况,且随着各种便携式设备、穿戴式设备的出现,生理电信号的采集得到越来越多的重视.近年来,许多研究人员致力于生理电信号采集电极的研究,因此基于MEMS技术的微针阵列干电极逐渐成熟.微针阵列干电极通过微针刺入被测者的皮肤,实现连续、长期、高效的生理电信号采集,由于其成本低、操作简单、不会使被测者感到不适、采集质量高等优点,逐渐取代传统湿电极而得到越来越广泛的应用.通过将微针阵列干电极与湿电极进行对比,突出微针阵列干电极的研究价值;结合国内外最新研究,综述微针阵列干电极的制作工艺、微针阵列干电极的改进技术、在生理电信号采集中的应用现状;讨论目前微针阵列干电极存在的不足,并对以后的发展趋势进行展望.

关键词：MEMS、微针阵列、干电极、生理电信号

所属期刊栏目：34

分类号：TP212.9(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金81000605,81110108007;广东省自然科学基金重点S20120200-10867;四川省科技计划项目2015HH0036

在线出版日期：2015-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：589-597