亚稳态硫化锰薄膜的制备及特性综述

摘要：

亚稳态硫化锰薄膜在短波长光电子器件中有着潜在的应用价值。由于高质量的亚稳态MnS薄膜难以制备，所以对其制备工艺进行相当多的研究。为了全面了解亚稳态MnS薄膜材料，对其的制备工艺及材料特性进行综述。

关键词：硫化锰、亚稳态、薄膜、制备工艺、材料特性

所属期刊栏目：34

分类号：TQ137.1+2

在线出版日期：2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：99-104