氧化物功能薄膜材料在柔性传感器件中的应用

摘要：

柔性传感器件因其在医疗健康、人机交互等应用中的巨大前景,受到了广泛关注,也是近年来的研究热点.作为无机功能材料中的一类重要材料,氧化物功能薄膜因其具有丰富的电子学、光学、热学、力学、磁学等方面性质已经在各种电子和光电子器件中得到了广泛的应用.将氧化物功能薄膜应用于柔性传感器件,有望进一步提高柔性传感器件的性能,并为新型柔性传感器件的设计提供材料保障.本文分析了目前氧化物功能薄膜在柔性传感器件中应用所面临的重点科学技术问题,并介绍了近年来在基于氧化物功能薄膜的柔性传感器件所涉及的关键技术和器件应用上的研究进展.

关键词：无机功能材料、氧化物功能薄膜、柔性器件、传感器件

所属期刊栏目：48

分类号：TB383;O484;O641.4

资助基金：国家重点基础研究发展计划（973计划）;四川省青年科技创新研究团队计划资助项目

在线出版日期：2018-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共15页

页码：635-649